Составители:
Рубрика:
135
через
Т
о
обозначить
пропускание
подложки
,
то
пропускание
подложки
с
поглощающей
пленкой
на
длинах
волн
,
кратных
...3,2,1 ,2/4
22max
=
=
λ
kkhn
k
,
будет
равно
(
)
,1
0
ATT
−
=
(3.4)
где
A
-
поглощение
в
пленке
.
Поглощение
в
плёнке
A
можно
определить
как
разницу
между
максимальным
значением
пропускания
в
длинноволновой
области
(0,7 - 1,0)
мкм
и
значениями
в
максимумах
экстремумов
на
фиксированных
длинах
волн
в
более
коротковолновых
областях
спектра
(0,4 -
0,7)
мкм
.
Зная
геометрическую
толщину
пленки
h,
по
закону
Бугера
(
)
hII
α
−
=
exp
0
, или
(
)
hTT
α
−
=
exp
0
(3.5)
можно
определить
коэффициент
поглощения
пленки
α
на
длине
волны
λ
0
(
)
hA
/1ln
−
−
=
α
(3.6)
и
ее
комплексный
показатель
поглощения
k
из
уравнения
.4
0
λπ=α
nk
(3.7)
Из
формул
(3.2 - 3.7)
можно
определить
коэффициент
преломления
и
толщину
пленки
nh
d
=
по
положению
экстремумов
пропускания
на
шкале
длин
волн
.
Пусть
соседние
экстремумы
находятся
на
длинах
волн
k
min
λ
и
k
max
λ
.
Неизвестными
являются
к
,
n
и
h
.
Возьмем
три
соседних
экстремума
с
определенными
длинами
волн
k
max
λ
,
k
min
λ
и
1
max
+k
λ
.
Для
них
можно
написать
систему
из
трех
уравнений
с
тремя
неизвестными
.
λ
max
k
=
4
п
2
h
2
/(2
k)
λ
min k
=
4
п
2
h
2
/(2
k+
1
)
λ
max
k+1
=
4
п
2
h
2
/2(
k+
1
)
Решая
эту
систему
,
можно
найти
оптическую
толщину
п
2
h
2
и
k
.
Значение
пропускания
T
в
экстремумах
(
T
min
и
T
max
)
также
можно
использовать
для
вычисления
показателей
преломления
пленок
n
в
области
с
минимальным
поглощением
с
помощью
следующих
соотношений
(
)
2
3
2
nNNn
−+= (3.8)
и
.
2
1
2
2
3
minmax
minmax
3
+
+
+
−
=
n
TT
TT
nN
(3.9)
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 133
- 134
- 135
- 136
- 137
- …
- следующая ›
- последняя »
