Составители:
Рубрика:
75
получать
пленки
с
заданным
коэффициентом
преломления
,
но
и
дает
возможность
создавать
комбинированные
системы
с
заданным
поглощением
.
Так
,
путем
добавок
к
растворам
эфиров
можно
вводить
в
матрицы
окислов
SiO
2
,
TiO
2
коллоидные
металлы
серебра
,
золота
,
свинца
и
других
веществ
,
которые
дают
требуемое
селективное
поглощении
.
Другие
химические
методы
–
пиролиз
и
аэрозольный
метод
имеют
узкую
область
применения
.
Они
используются
для
получения
твердых
токопроводящих
пленок
SnO
2
.
Сущность
метода
заключается
в
том
,
что
на
поверхности
нагретой
детали
образуется
пленка
SnO
2
при
разложении
двухлористого
олова
в
присутствии
влажного
воздуха
или
путем
распыления
пленкообразующего
раствора
,
в
который
входит
хлорное
олово
,
фтористоводородная
и
соляная
кислота
,
а
также
этиловый
спирт
.
Практического
применения
для
изготовления
интерференционных
покрытий
ИК
-
диапазона
эти
методы
не
нашли
.
Вакуумные
методы
нанесения
покрытий
получили
массовое
распространение
в
настоящее
время
.
К
вакуумным
относятся
физические
конденсационные
методы
,
использующие
термическое
испарение
в
высоком
вакууме
(10
-3
Па
и
менее
)
и
катодное
распыление
пленкообразующих
материалов
при
низком
вакууме
(10
-1
- 10
1
)
Па
при
распылении
катода
.
Промышленное
производство
оптических
интерференционных
покрытий
вакуумными
методами
начало
развиваться
только
после
1930
г
.,
когда
появились
хорошие
вакуумные
насосы
и
материалы
,
позволявшие
наносить
пленки
испарением
в
вакууме
.
Первыми
промышленными
оптическими
покрытиями
были
однослойные
просветляющие
покрытия
.
В
начале
60-
х
годов
начались
интенсивные
разработки
другого
типа
просветляющих
покрытий
,
а
именно
–
трехслойных
покрытий
.
Несмотря
на
то
,
что
теория
таких
покрытий
была
известна
в
40-
х
годах
,
в
то
время
не
была
еще
разработана
техника
получения
пленок
с
нужным
показателем
преломления
.
Преимущества
трехслойных
покрытий
были
несомненны
,
но
их
производство
развивалось
медленно
в
силу
нескольких
причин
.
Прежде
всего
,
изготовление
таких
покрытий
представляет
собой
гораздо
более
сложную
задачу
,
чем
изготовление
однослойных
.
Оптические
толщины
и
показатели
преломления
всех
трех
слоев
необходимо
контролировать
с
очень
высокой
точностью
.
Основными
преимуществами
вакуумных
методов
нанесения
покрытий
являются
:
возможность
контроля
основных
технологических
параметров
в
процессе
напыления
,
хорошая
воспроизводимость
результатов
и
высокая
производительность
.
Широкое
распространение
для
изготовления
интерференционных
покрытий
получил
метод
термического
испарения
в
высоком
вакууме
.
Его
описанию
будет
посвящен
следующий
параграф
.
Катодные
или
ионно
-
плазменные
методы
получения
покрытий
основаны
на
распылении
мишени
при
бомбардировке
ионами
инертных
или
реактивных
газов
.
Источником
ионов
является
самостоятельный
разряд
в
разреженном
газе
(
тлеющий
на
постоянном
токе
или
высокочастотный
)
или
несамостоятельный
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 73
- 74
- 75
- 76
- 77
- …
- следующая ›
- последняя »
