ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
41
изменение ее структуры. Для этой цели обычно используется введение в
систему регулирования так называемых корректирующих средств. К ним
относятся, в частности, корректирующие звенья, подставляющие собой
динамические звенья с определенными передаточными функциями.
ОПИСАНИЕ ЛАБОРАТОРНОЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ УСТАНОВКИ
Назначение, технические характеристики, принцип действия
Установка СДО-1З является технологическим оборудованием и
предназначена для проведения процессов диффузии в пластины кремния и
германия, а также для проведения специальных технологических,
процессов, характеризующихся повышенными требованиями [2], к
стабильности температуры при их протекании, остановка ОДО-13
обеспечивает диапазон рабочих температур 700-1200°С u и
распределением температуры по всей длине тепловой зоны (не менее 300
мм) ±1 °С. Точность поддержания заданного уровня температуры
составляет 0,5°С.
Обеспечение необходимой длины тепловой зоны ("температурной
площадки") с равномерным распределением температуры и высокой
точностью ее поддержания потребовало применения в установке СДО-13
трехканальной системы регулирования. Структурное построение каждого
из каналов идентично. Поэтому ниже рассматривается работа только
центрального канала автоматического регулирования температуры
диффузионной установки СДО-13, структурная схема которого приведена
на рис. 2.
В качестве датчика температуры в установке применена стабильная и
высокотемпературная термопара платина-платинородий. Влияние
изменения температуры окружающей среды на стабильность показаний
термопары сводится к минимуму при включении в разрыв одного из ее
электродов компенсатора холодных концов термопары. Задание
необходимого уровня температуры тепловой зоны осуществляется в блоке
компенсатора. Для этого опорное напряжение, вырабатываемое
прецизионным стабилизированным источником питания, подается на
делитель напряжения, куда входят многооборотные потенциометры
задатчики температуры R
1
и R
2
. В зависимости от величины их
сопротивлений происходит изменение значения опорного напряжения в
пределах 100 - 1500 мкВ, причем R
1
служит для грубой регулировки
(«ГРУБО»), а R
2
для точной («ТОЧНО»).
Напряжении, вырабатываемое термопарой (т.е. пропорциональное
реальной температуре в тепловой зоне), в блоке компенсатора
суммируется с опорным напряжением, пропорциональным заданной
температуре. В результате суммирования этих разнополярных напряжений
(опорного и входного) формируется напряжение сигнала рассогласования,
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 39
- 40
- 41
- 42
- 43
- …
- следующая ›
- последняя »
