Нанокластеры. Методы синтеза нанокластеров - 20 стр.

UptoLike

Рубрика: 

20
В зависимости от формы мишени так же могут применяться механизмы для
ее вращения, обеспечивая тем самым равномерное испарение материала мишени.
Еще раз подчеркнем, что источники кластеров на основе испарения лазером
работают в импульсном режиме: используется импульсный режим работы
лазеров, что определяет импульсный режим подачи в источник инертного газа.
Такой режим позволяет создавать достаточно экономичные установки.
Подводя итоги, можно сказать, что кластерные источники, в основе работы
которых лежит метод испарения лазером, очень чувствительные, и позволяют
получать металлические, оксидные кластеры, также как и кластеры различных
сплавов, с большим числом всевозможных структур и стехиометрических
комбинаций. Поскольку источники на основе испарения лазером работают с
малыми массами газа, возможно, их использование совместно с вакуумными
системами высокого вакуума. С другой стороны, при использовании источников
данного типа скорость осаждения кластеров достаточно низкая, и, обычно,
удается провести осаждение кластеров только на малые поверхности. Это
серьезный недостаток, затрудняющий использование данных источников для
синтеза наноструктурных материалов с точки зрения их последующего
применения.
2.3.4 Импульсные микроплазменные кластерные источники
Импульсные микроплазменные кластерные источники (международное
обозначение – pulsed microplasma cluster source - PMCS) объединяют в себе
различные элементы и принципы работы, типичные как для источников,
работающих на основе разрядки плазмы, так и для источников на основе
испарения лазером.
В основе работы описываемого типа источников лежит явление абляции
исходного материала микроплазмой.
Схематическое изображение PMCS приведено на рисунке 7 [15].