Нанокластеры. Методы синтеза нанокластеров - 22 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ЮФУ | Ростов-на-Дону

Составители: 

Рубрика: 

22
результате чего у поверхности катода образуется небольшая область с высокой
концентрацией инертного газа. После этого к электродам прикладывается
напряжение величиной от 500 до 1500 В (типичная продолжительность подачи
напряжения составляет 50 мкс), приводящее к ионизации инертного газа и
образованию микроплазмы. (Здесь употребляется термин “микроплазма”,
поскольку первоначально в полость источника подается небольшая “порция” газа,
и, соответственно, впоследствии образуется небольшое количество плазмы).
В результате разрядки плазмы происходит абляция материала катода. При
этом испарение материала происходит с тех участков катода, около которых была
создана область повышенной плотности инертного газа. Для равномерного же
удаления материала с поверхности катода, как и в случае с источниками на основе
испарения лазером, могут использоваться механизмы, вращающие катод.
Далее смесь паров исходного материала и инертного газа охлаждается, в
результате чего происходит образование и рост кластеров. Вследствие разницы
давлений смесь кластеров и газа устремляется через сопло, образуя сверхзвуковой
кластерный пучок.
Образование плазмы в источнике происходит в строго локализованной
области, что позволяет добиться высокой интенсивности испарения материала.
При этом, поскольку источник работает в импульсном режиме (в источник
подаются небольшие “порции” газа), в процессе образования кластеров участвуют
малые массы газа, вследствие чего процессы испарения и конденсации протекают
в одной области пространства, что, в свою очередь, делает такие источники очень
компактными. Напомним, что в описанном ранее типе источника на основе
разрядки плазмы, в соответствии с пунктом 2.3.2, вследствие большой массы газа
в источнике (инертный газ поступает в источник в непрерывном режиме),
процессы испарения и конденсации разделены в пространстве.
Подводя итоги, можно сказать, что благодаря высоким интенсивности и
стабильности, импульсные микроплазменные кластерные источники являются

Страницы