ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
23
уникальным инструментом синтеза наноструктурных материалов, демонстрируя
временную стабильность и высокую скорость осаждения. Они успешно
используются для синтеза кластеров достаточно тугоплавких материалов, в
частности, оксидов и нитридов переходных металлов. А использование катодов,
состоящих из различных материалов, позволяет получать смешанные кластеры с
последующим осаждением нанокомпозитных тонких пленок.
2.4 Типичная схема установки для получения
Рассмотрим полную схему установки для осаждения кластеров и тонких
пленок из газовой фазы с помощью сверхзвукового кластерного пучка. Поскольку
различные установки могут иметь немного отличающуюся конструкцию, что
определяется, например, типом используемого в работе источника, мы опишем
схему установки, которая используется в настоящее время для осаждения
кластеров и тонких пленок самых различных материалов, таких, например, как
углерод, титан, палладий в Междисциплинарном центре по исследованию
наноструктурных материалов и поверхностей Университета Милана (г. Милан,
Италия).
Установка состоит из трех основных камер – источника кластеров, камеры
расширения и камеры осаждения (см. рисунок 8).
В качестве источника кластеров, в силу ряда своих преимуществ,
используется импульсный микроплазменный кластерный источник, принцип
работы которого описан ранее, в соответствии с пунктом 2.3.4. Источник
соединен с газовым баллоном, из которого через пульсирующий клапан в него
поступает буферный газ. Образовавшиеся в источнике кластеры и газ проходят
через капиллярное фокусирующее сопло, и вследствие разницы давлений в
источнике и камере расширения образуют расширяющийся сверхзвуковой
кластерный поток. При этом, расширяясь через сопло, газ продолжает
охлаждаться, и процесс образования и роста кластеров продолжается.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 21
- 22
- 23
- 24
- 25
- …
- следующая ›
- последняя »
