Нанокластеры. Методы синтеза нанокластеров - 24 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рисунок 8 - Схема установки для осаждения кластеров и тонких пленок из

газовой фазы с помощью сверхзвукового кластерного пучка

Что касается величин давлений, то с помощью специальных вакуумных

насосов, соединенных с установкой, в кластерном источнике поддерживается

давление порядка 10

-3

торр, тогда как в камере расширения – 10

-4

торр. Давление в

камере осаждения – порядка 10

-6

торр.

По выходе из сопла (в камере расширения) пучок фокусируется, проходя

через систему аэродинамических фокусирующих линз. Сузить угловое

расширение пучка также помогает расположенный на пути у пучка скиммер.

В камере осаждения с помощью специальных держателей укрепляется

подложка, на которую и происходит осаждение. Специальные компьютерные

программы (к установке подключен компьютер), позволяют задавать величины,

на которые будет производиться смещение подложки в горизонтальном и

вертикальном направлении, и тем самым регулировать размер площади, на

которую будет проведено осаждение. Обычно, интенсивность кластерного пучка

такова, что за сравнительно малые промежутки времени к подложке подходят