Нанокластеры. Методы синтеза нанокластеров - 21 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рисунок 7 - Схематическое представление импульсного микроплазменного

кластерного источника [15]

Источник состоит из керамического тела кубической формы с

цилиндрической полостью внутри, объемом несколько кубических сантиметров.

Перпендикулярно оси полости находится канал, диаметром около 6 мм, в котором

помещается стержень из исходного материала. Данный стержень обычно

подключается к отрицательному полюсу источника напряжения, выступая, таким

образом, в качестве катода. Анод может размещаться где-то внутри полости, в

соответствии с рисунком 7, либо в канале напротив анода. На одной из боковых

сторон полости располагается клапан для подачи инертного газа, а выходное

сопло - на другой, противоположной стороне.

Принцип работы источника следующий. Через клапан в боковой стороне в

полость источника поступает “порция” инертного газа (обычно газ подается в

течение времени, равном примерно несколько сотых долей микросекунды), в