Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 58 стр.

       2.5. Методы изучения свойств полученных пленок

              Определение толщины получаемых пленок

     Толщина полученной пленки может измеряться разными способами.
В данном описании мы приведем лишь один наиболее простой. Масса
напыленного вещества m с его плотностью γ и объемом V связана
известным соотношением:
                           m = γV или m=ΔSγ,
где Δ - толщина пленки; S - площадь; γ - плотность вещества; отсюда
                                      m
                                 ∆=      .
                                      Sγ
     В данном определении толщины мы идем на известное допущение:
плотность пленок и плотность массивного металла отличаются друг от
друга, однако берутся табличные значения γ. Измеряются размеры образца
и рассчитывается площадь. Массу осажденного вещества определяют
аналитически. Так как в лаборатории чаще других получают пленки Al и
Cu, приводим методики для их количественного определения.


                           Определение меди
     Подложку с пленкой помещают в стаканчик на 50 мл, наливают
небольшое количество разбавленной азотной кислоты (около 10 мл) и
растворяют пленку при нагревании. Полученный раствор охлаждают и
переносят в мерную колбу на 100 мл, добавляют 10 мл 10%-го раствора
аммиака и доводят до метки дистиллированной водой. Полученный
раствор выливают в кювету и делают замер оптической плотности на
фотометре ЛМФ-69 на красном светофильтре №2 и кювете l = 20 мм.
Замер оптической плотности делается три раза и затем усредняется.
Пользуясь калибровочным графиком и полученным значением оптической
плотности, находят концентрацию металла С и количество меди в


                                   58