Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 57 стр.

22. Через 25-30 мин закрыть краны - "Диффузионный насос" и
"Форвакуумный насос", выключить форвакуумный насос тумблером
"Форвакуумный насос".
23. Закрыть воду.
24. Отключить установку от электросети.
        При проведении серии экспериментов смена подложки происходит
без выключения насосов. Для этого после пункта 18 выполняется
следующая последовательность действий:
19. Поднять колпак, снять подложку с пленкой и установить чистую
подложку.
20. Закрыть колпак.
21.     Привести    краны   в   следующее     положение:    "Натекатель",
"Диффузионный насос", "Форвакуумный насос" - закрыты; "Байпас" -
открыт. Трехходовой кран на емкости с рабочим газом переключить на
подачу рабочего газа.
22. При достижении давления в системе 10-1 мм.рт.ст перейти к п.9. и далее
по порядку.


        При выполнении данной работы по заданию преподавателя можно
выполнить следующее:
1. Определить толщину полученной пленки по методикам, изложенным
ниже.
2. Определить скорость напыления пленок.
3. Определить зависимость скорости распыления и толщины пленки от
параметров разряда.
4. Определить адгезию пленок к подложке либо методом термоудара, либо
воздействием ультразвуковых колебаний. Полученные результаты можно
сравнить с результатами аналогичных измерений на пленках, полученных
методом термического испарения в вакууме.

                                   57