Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 55 стр.

                                                           3
                        1         2               10

                 Ar

            8




            9              7     6
                                                       5       4


           Рис. 16. Вакуумная схема экспериментальной установки.
1 - объем с рабочим газом; 2 - натекатель; 3 - рабочая камера; 4 - кран
"Диффузионный насос"; 5 - диффузионный насос; 6 - кран "Форвакуумный
насос"; 7 - кран "Байпас"; 8 -клапан напуска воздуха; 9 - форвакуумный насос; 10
- напуск воздуха в рабочую камеру.



                                     Порядок работы
1. Подготовить стеклянную подложку для нанесения тонкой пленки. Для
этого очистить подложку от органической и неорганической примеси
содой, затем протравить в хромовой смеси. С помощью краевого угла
смачивания определить чистоту подложки.
2. Установить подложку на подложкодержателе.
3. Закрыть колпак.
4. Включить электропитание установки.
5. Включить водяное охлаждение диффузионного насоса.
6. Вакуумные краны привести в следующее положение: "Натекатель" -
закрыт,    "Байпас"    -       открыт,    краны   "Форвакуумный     насос"    и
"Диффузионный насос" - закрыты.
7. Тумблером "Форвакуумный насос" включить форвакуумный насос. При
этом загорается индикатор "Форвакуумный насос включен".


                                           55