Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 54 стр.

                 Рис. 15. Электрическая схема магнетрона


     Подложкодержатель (2) расположен от мишени на расстоянии,
которое можно изменять в пределах от 35 мм до 90 мм. Стеклянная
подложка закрепляется на подложкодержателе с помощью зажимов так,
чтобы   обеспечивался    хороший     тепловой    контакт   подложки   с
подложкодержателем. Подложкодержатель имеет нулевой потенциал, то
есть заземлен. Между подложкодержателем и мишенью магнетрона
расположен дополнительный горообразный электрод (3) диаметром 140
мм, изготовленный из меди. Медные трубки охлаждения анода и мишени
магнетрона, являющиеся одновременно электрическими выводами этих
электродов, изолированы от фланца керамическими изоляторами и
герметизированы клеем К-400. Вывод дополнительного электрода также
изолирован и герметизирован. Напуск атмосферного воздуха и рабочих
газов осуществлялся через трубку, выходной конец которой расположен во
фланце магнетронного узла. Давление рабочего газа устанавливается с
помощью натекателя.
     Вакуумная схема экспериментальной установки (рис.16) состоит из
рабочей камеры, системы откачки, системы напуска рабочих газов и
средств измерения давления.
     Откачка системы осуществляется форвакуумным насосом типа
2НВР-5ДМ (9) и диффузионным насосом типа Н-5С-М (5) до давления
10 −4 мм.рт.ст. Напуск плазмообразующего газа производится с помощью

натекателя (2). Давление остаточных и рабочих газов измеряется
вакууметром ВИТ-3 с термопарным датчиком типа ПМТ-2.

                                   54