Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 56 стр.

8. При достижении давления в системе 10 −1 мм.рт.ст. или 12 делений по
шкале вакууметра ВИТ -3 тумблером "Диффузионный насос" включить
диффузионный насос. При этом загорается индикатор "Диффузионный
насос включен".
9. Вакуумные краны привести в следующее положение: "Натекатель",
"Байпас" - закрыты, краны "Форвакуумный насос" и "Диффузионный
насос" - открыты.
10. Откачать систему до предельного вакуума (примерно 10 −4 мм.рт.ст.).
Строго следить за напором воды.
11. С помощью натекателя установить требуемое давление рабочего газа
(примерно 5·10-3 мм.рт.ст.).
12. Включить тумблер "Высокое напряжение". При этом загорается
индикатор "Высокое напряжение включено".
13. Поворачивая ручку ЛАТРа установить требуемое напряжение
зажигания, т.е. зажечь разряд. С этого момента начинается процесс
распыления мишени и осаждение пленки на подложке.
14. После получения пленки нужной толщины напряжение на мишени
ручкой ЛАТРа уменьшить до нуля. Выключить тумблер "Высокое
напряжение".
15. "Промыть" вакуумную камеру рабочим газом до остывания подложки,
то есть после выключения разряда в течение 5 мин не закрывать
натекатель.
16. Закрыть натекатель и кран "Диффузионный насос".
17. Переключить трехходовой кран на емкости с рабочим газом на подачу
воздуха.
18. Открыть натекатель, напустить воздух под колпак.
19. Поднять колпак и извлечь подложку.
20. Закрыть колпак.
21. Выключить тумблер "Диффузионный насос".

                                   56