Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 53 стр.

               Рис. 14. Магнетронная распылительная система
1 - стеклянный колпак; 2 - подложкодержатель; 3 - дополнительный
электрод; 4 - анод; 5 -периферийные магниты; 6 - катод; 7 - фланец; 8 -
центральный магнит: 9 - корпус магнетрона; 10 - основание магнитного
блока


      Магнитный блок создает над поверхностью катода магнитное поле
(порядка 0,02-0,05 Тл). Составляющая этого поля параллельна плоскости
катода. Мишень магнетрона имеет принудительное охлаждение проточной
водой. Анод (4) изготовлен из латунной трубки и также охлаждается
проточной водой. Расстояние от катода до анода составляет 25 мм.
     Анод и корпус магнетрона закреплены на фланце с помощью
изолирующих стоек (на рисунке не показаны). Питание разрядной цепи
магнетрона производится от источника постоянного тока с напряжением
до 2000 В и максимальным током до 1 А (схема разрядной цепи
магнетрона приведена на рис.15).




                                    53