Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 51 стр.

поля (в некоторых случаях его конфигурацией), конструкцией катодного
узла и геометрией мишени.
     Разработаны три базовые конструкции магнетронных устройств:
цилиндрическая, планарная и с кольцевым конусообразным катодом. Все
они представляют собой двухэлектродную распылительную систему, т.е.
содержат анод и катод-мишень, изготовленный из распыляемого материала
и находящийся под отрицательным потенциалом. Для формирования
области плазмы используется магнитное поле, силовые линии которого
имеют значительную кривизну, проходят через поверхность катода-
мишени     и   должны    быть    перпендикулярны    силовым    линиям
электрического поля. Зона разряда (плотной плазмы тлеющего разряда
низкого давления) представляет собой замкнутую конфигурацию и
локализована над определенным участком поверхности катода-мишени в
зоне магнитного поля, с которого и происходит интенсивное распыление.
     Для   нанесения    тонких   пленок   обычно   использую   плоские
(планарные)    магнетроны   (источники    магнетронного   распыления),
состоящие из следующих основных частей: катодный узел, магнитный
блок и анод.
     Катодный узел является важнейшим элементом МРС. Он состоит из
мишени, выполненной из распыляемого материала и ее водоохлаждаемого
держателя. Существует много конструкционных вариантов катодных узлов
с прямым или косвенным охлаждением проточной водой. Прямой контакт
проточной воды с тыльной стороной мишени обеспечивает максимальную
эффективность процесса охлаждения, но применение этого способа
ограничено из-за опасности прорыва воды при образовании трещины в
мишени или при чрезмерном увеличении зоны эрозии.
     Магнитная система состоит из магнита, создающего поле с
требуемой индукцией, и полюсных наконечников, непосредственно
примыкающих к мишени и обеспечивающих формирование магнитного

                                  51