ВУЗ:
Составители:
101
определения отраженной поляризации. Эта информация, совместно с
информацией о поляризации входного сигнала, используется для
вычисления изменения поляризации, произошедшей вследствие
взаимодействия света с образцом. Это и позволяет получить
эллипсометрические параметры
и
. С помощью эллипсометра
измеряют изменения поляризации. Однако с их помощью можно изучать
интересующие исследователя свойства материалов, такие, как толщина
тонкопленочных покрытий, параметры тензора диэлектрической
проницаемости, цветовые характеристики и многое другое. В случае
достаточно больших монолитных образцов выведены простые уравнения
для определения «псевдо» оптических констант по измерению
эллипсометрических параметров при единственном отражении. Например:
22
1
sin 1 tan
1
.
Но такой подход не совсем верен даже для изотропных материалов,
Ведь монолитный материал содержит на поверхности слои окислов, и
прямое вычисление оптических констант включит в себя и влияние этих
слоев на вычисляемые оптические константа чистого материала. Поэтому
исследователи гораздо чаще прибегают к более сложной, но и более
надежной процедуре вычисления оптических параметров образцов с
помощью эллипсометрических измерений. Схема такого общепринятого
вычислительного эксперимента рассмотрена в [20]. Необходимо создание
адекватной математической модели, методов ее верификации, алгоритмов
и программ для проведения возможно более точных численных расчетов с
привлечением информации о достоверности тех либо иных данных и т.д.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 99
- 100
- 101
- 102
- 103
- …
- следующая ›
- последняя »
