ВУЗ:
Составители:
100
Типичная схема эллипсометра изображена на рис. 27. Схематично
здесь представлены: источник монохроматического света, поляризатор,
измеряемый образец, поляризационный анализатор и детектор.
Поляризационные генератор и анализатор сконструированы из оптических
компонент, регулирующих поляризационные свойства пучка света, – это
поляризаторы, компенсаторы и фазовые модуляторы. Обычно все
конфигурации эллипсометров включают в себя вращающиеся анализаторы
(rotating analyzer - RAE), вращающиеся поляризаторы (rotating polarizer -
RPE), вращающиеся компенсаторы (rotating compensator - RCE) и фазовые
модуляторы (phase modulation - PME).
Рис. 27. Эллипсометр с вращающимся анализатором
Типичный эллипсометр с вращающимся анализатором (RAE -
Rotating Analyzer Ellipsometer) представленный на рис. 27, работает
следующем образом. Источник света испускает деполяризованный свет в
направлении поляризатора. Поляризатор пропускает лишь линейно-
поляризованный свет с заданными
p
- и
s
-компонентами. Ось
поляризатора сориентирована таким образом, что на образец падают обе
компоненты линейно-поляризованного луча света. Этот луч отражается от
образца, становится эллиптически поляризованным и следует в
направлении постоянно вращающегося поляризатора (который в данном
случае служит анализатором). Количество (интенсивность) прошедшего
сквозь анализатор света зависит от ориентации анализатора относительно
«эллиптической» электромагнитной волны, отраженной от образца.
Детектор преобразует энергию световой волны в электрический сигнал для
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 98
- 99
- 100
- 101
- 102
- …
- следующая ›
- последняя »
