ВУЗ:
Составители:
99
, ведь при вычислении разности почти одинаковых чисел число
правильных значащих цифр катастрофически уменьшается.
Углы
и
, характеризующие относительный коэффициент
отражения, обычно называют поляризационными углами отражающей
системы. Находя величины
p
r
и
s
r
для конкретной отражающей системы,
при помощи основного уравнения эллипсометрии можно установить связь
между поляризационными углами
,
и оптическими постоянными и
толщинами плоскопараллельных слоев этой системы. Эта зависимость
также должна учитывать угол падения света на образец
0
и длину волны
света .
Пример эллипсометрических измерений представлен на рис. 26.
Падающий свет линейно поляризован, с заданными
p
- и
s
-компонентами.
На выходе, после отражения от образца, измеряются изменившиеся
амплитуда и фаза электромагнитной волны.
Рис. 26. Типичная конфигурация эллипсометрических измерений
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 97
- 98
- 99
- 100
- 101
- …
- следующая ›
- последняя »
