Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 11 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

б г

в д

Рис.1.8. Основные этапы изготовления элементов МСТ

с использованием LIGA-технологии:

а – создание фотоэлектронного рисунка элемента МСТ в резисте;

б – проявление резиста;

в – гальваноосаждение металла;

г – формирование шаблона;

д – формирование микромеханической структуры элементов МСТ

Процесс изготовления микромеханических структур элементов МСТ наJ

чинается с создания фотоэлектронного рисунка в резисте (см. рис.1.8,а). ПослеJ

дующее проявление резиста (см. рис.1.8,б) и гальваноосаждение металла