Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 15 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

жертвенных слоев (рис.1.10,д).

а в

б г

Рис.1.10. Основные этапы изготовления элементов МСТ

с использованием MUMPs-технологии:

а – создание слоя изоляции и осаждение poly0;

б – осаждение ox1, формирование предохранителей и контактов;

в – осаждение poly1 и ox2, формирование структуры элемента;

г – осаждение poly2 и формирование структуры элемента МСТ;

д – осаждение metal и удаление ox1 и ox2

По данной технологии изготавливается большинство планарных элеменJ

тов МСТ. Использование поликремния в качестве структурного материала сенJ

сорных и актюаторных элементов микросистемной техники в MUMPs-технолоJ

гии обосновывается тем, что данный материал обладает хорошими механичеJ

скими свойствами. Отлаженные технология и методы фотолитографии позволяJ

ют создавать сенсорные и актюаторные элементы МСТ в одном технологичеJ

ском процессе с микроэлектронными устройствами ИС.

Недостатком данной технологии является невозможность изготовления

элементов МСТ из другого материала, кроме как из поликремния.

Достоинством MUMPs-технологии (как и поверхностной микрообраJ

ботки) является возможность создания большого количества различных по

функциональному назначению элементов МСТ в одном процессе изготовления

с незначительными изменениями, а также возможность интегрального создания