ВУЗ:
Составители:
Данный тип актюаторов нашел широкое применение в интегральной миJ
кросборке элементов МСТ [77-80].
Основной недостаток магнитных актюаторов – необходимость использоJ
вания внешних источников магнитного поля.
Данный тип актюаторов изготавливается по MUMPs-технологии.
В настоящее время актюаторные элементы микросистемной техники шиJ
роко используются при создании актюаторных микросистем, таких как микроJ
насосы, интегральные микрозеркала и микромеханические ключи [4,7,8].
3.1. Микронасосы
По принципу функционирования микронасосы делятся на два класса
[52,55-59].
К первому классу относятся немеханические микронасосы (не содержаJ
щие подвижные микромеханические части). Данный класс включает микронаJ
сосы на основе электрогидродинамического, электроосмотического и ультраJ
звукового эффектов.
Ко второму классу, самому распространенному, относятся механические
микронасосы (содержащие подвижные микромеханические части) с активными
и пассивными клапанами.
3.1.1. Электрогидродинамические микронасосы
Наибольшее распространение, в классе немеханических микронасосов
получили электрогидродинамические.
Электрогидродинамический микронасос представляет собой инжекционJ
ный микронасос, состоящий из двух электродов сетчатой структуры, размещенJ
ных один над другим и разделенных слоем диэлектрика (рис.3.7) [55].
Рис.3.7. Микронасос электрогидродинамического типа
Если микронасос погрузить в полярную жидкость (содержащую ионы и
диполи) и к двум сетчатым структурам приложить напряжение, то в результате
взаимодействия между высокими электрическими полями и ионами или дипоJ
лями жидкости возникнут силы, действующие на частицы жидкости. Частицы
38
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 36
- 37
- 38
- 39
- 40
- …
- следующая ›
- последняя »
