Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 40 стр.

UptoLike

Составители: 

Достоинством механических микронасосов с активными клапанами явJ
ляется то, что они позволяют перекачивать жидкость в обоих направлениях без
изменения конструкции. Перестройка работы микронасоса заключается только
в обратной последовательности включения актюаторов активных клапанов.
3.1.3. Механические микронасосы с пассивными клапанами
Поршневой механический микронасос с пассивными клапанами содержит
рабочую область с подвижной мембраной, управляемой актюатором, входной и
выходной клапаны, управляемые потоком жидкости (рис.3.9) [52,57,59].
По принципу действия используемого актюатора поршневые механичеJ
ские микронасосы разделяют на электростатические, пьезоэлектрические
(рис.3.9,а), магнитные и термопневматические (рис.3.9,б) [52,57,59].
а
б
Рис.3.9. Поршневой механический микронасос:
а – пьезоэлектрический;
б – термопневматический
40