Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 41 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

При включении актюатора, происходит деформация подвижной мембраJ

ны. Что в свою очередь приводит к изменению объема рабочей области микроJ

насоса. В результате возникает разность давлений жидкостей, находящихся в

рабочей области, на входе и на выходе микронасоса. Под воздействием жидкоJ

сти, находящейся в рабочей области, входной клапан закрывается, а выходной –

открывается. При этом избыточная жидкость удаляется из рабочей области миJ

кронасоса через выходной клапан. Давления жидкости в рабочей области, на

входе и выходе микронасоса выравниваются.

При выключении актюатора подвижная мембрана возвращается в первоJ

начальное положение и объем рабочей области микронасоса восстанавливается.

В результате снова возникает разность давлений жидкостей, находящихся в раJ

бочей области, на входе и на выходе микронасоса. Под воздействием жидкости,

находящейся на входе микронасоса, входной клапан открывается, а под воздейJ

ствием жидкости, находящейся на выходе микронасоса, выходной клапан заJ

крывается. Рабочая область заполняется жидкостью через входной клапан.

Поршневые механические микронасосы получили более широкое распроJ

странение, чем механические микронасосы с активными клапанами, т.к. они

позволяют перекачивать больший диапазон жидкостей [52,57,59].

Для увеличения объемов перекачиваемой жидкости микронасосы изгоJ

тавливают с несколькими рабочими областями.

На рис.3.10 представлена конструкция двухкамерного механического миJ

кронасоса с пьезоэлектрической активацией [59].

Рис.3.10. Двухкамерный пьезоэлектрический микронасос

Механические микросмесители строятся на основе поршневых механичеJ

ских микронасосов. Основное отличие микросмесителей от микронасосов соJ

стоит в том, что конструкция микросмесителя содержит несколько входных

клапанов и только один выходной.

В настоящее время не существует интегральных конструкций механичеJ

ских микронасосов и микросмесителей. Отдельные части микронасосов (микроJ

смесителей) изготовляются в разных подложках с помощью технологий объемJ

ной микрообработки или LIGA. Затем изготовленные части собираются с помоJ

щью операции микросборки.