ВУЗ:
Составители:
Рис.3.12. Интегральное микрозеркало с электростатической активацией,
изготовленное с использованием MUMPs-технологии
Структуру микрозеркала заземляют (poly2) и на отклоняющий электрод
(poly0) подают напряжение. Между структурой микрозеркала и отклоняющим
электродом возникает электростатическая сила, которая отклоняет микрозеркаJ
ло. Движение микрозеркала осуществляется за счет изгиба упругой консольной
балки.
Недостатками данной структуры являются отсутствие функциональной
возможности отклонения микрозеркала в обе стороны и потеря площади криJ
сталла, связанная с необходимостью размещения якоря (anchor2) и упругой
консольной балки микрозеркала.
На рис. 3.13 приведена структура интегрального микрозеркала с электроJ
статической активацией, изготавливаемого по технологии поверхностной миJ
крообработки [54].
Рис. 3.13. Структура интегрального микрозеркала
с электростатической активацией
При подаче напряжения на один из отклоняющих электродов между ним
и структурой микрозеркала возникает электростатическая сила, которая притяJ
гивает микрозеркало к отклоняющему электроду. Когда отклоняющее напряжеJ
ние убирается, микрозеркало под действием силы упругости возвращается в исJ
ходное положение.
43
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 41
- 42
- 43
- 44
- 45
- …
- следующая ›
- последняя »
