Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 44 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

Электростатическая сила
ai
F
, возникающая между отклоняющим элекJ
тродом и структурой микрозеркала, определяется следующим выражением [54]:
2
2
0
2
1
ai
U
d
ai
W
ai
L
ai
F
⋅⋅⋅
=
εε
, (3.23)
где
ai
L
,
ai
W
– длина и ширина части отклоняющего электрода, расположенной
под структурой микрозеркала;
ai
U
– отклоняющее напряжение.
В выражении (3.23) индекс i принимает значения 1, 2 для соответствуюJ
щих отклоняющих электродов.
Под действием силы
ai
F
структура микрозеркала притягивается к отклоJ
няющему электроду. По закону Гука, силе
ai
F
, действующей на микрозеркало,
будет противодействовать сила упругости
упр
F
, равная по модулю электростаJ
тической силе и противоположная по направлению [54]:
yk
упр
F
ai
F ⋅⋅=−= 2
. (3.24)
Жесткость пластин крепления определяется следующим выражением:
3
к
l
JE
k
⋅
=
, (3.25)
где
к
l
– длина пластин крепления.
Под действием электростатической силы
ai
F
пластины крепления будут
изгибаться по окружностям с центром в точке 0, радиусом изгиба R и углом
изгиба γ (рис. 3.14) [54].
Рис. 3.14. Модель движения структуры микрозеркала
44

Страницы