Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 42 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

3.2. Интегральные микрозеркала

Интегральные микрозеркала с электростатической активацией находят

широкое применение в миниатюрных робототехнических системах (в качестве

оптических ключей) и системах анализа и обработки изображений (для отклоJ

нения лазерного луча и/или светового потока) [11,54,60-62].

На рис.3.11 приведена структура микрозеркала, изготовленного с помоJ

щью технологии объемной микрообработки [11,54,60-62].

Рис.3.11. Микрозеркало с электростатической активацией, изготовленное

с использованием технологии объемной микрообработки

Для отклонения структуры микрозеркала используются два электростатиJ

ческих актюатора, создаваемых структурой микрозеркала и двумя электродами,

расположенными под структурой микрозеркала. Структуру микрозеркала заJ

земляют и на отклоняющие электроды попеременно подают напряжение. МежJ

ду структурой микрозеркала и отклоняющими электродами возникает электроJ

статическая сила, которая отклоняет микрозеркало то в одну, то в другую стоJ

рону. Движение микрозеркала осуществляется за счет кручения торсионных баJ

лок.

Изготовление данного микрозеркала с помощью технологии объемной

микрообработки затрудняет его использование в интегральных микрооптикоJ

электромеханических системах.

На рис.3.12 приведена структура интегрального микрозеркала с электроJ

статической активацией, изготовленного с использованием MUMPs-технологии

[11,54,60-62].

Отклонение структуры микрозеркала осуществляется с помощью элекJ

тростатического актюатора, создаваемого пластинами, выполненными из слоя

поликремния (poly0) и второго структурного слоя (poly2).