Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 45 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

Угол изгиба пластин крепления определяется выражением [54]:
2
2
0
4
1
ai
U
ai
xd
к
lk
ai
W
ai
L
−⋅⋅
⋅⋅⋅
=
εε
γ
, (3.26)
где
ai
x
– отклонение, совершаемое структурой микрозеркала в сторону отклоJ
няющего электрода.
Напряжения замыкания, при котором произойдет контакт структуры миJ
крозеркала и отклоняющего электрода, определяется следующим выражением
[54]:
ai
W
d
к
lk
ai
U
⋅⋅⋅
⋅⋅
⋅⋅=
0
3
max
3
4
*
εε
γ
. (3.27)
На рис. 3.15 представлена зависимость отклонения структуры микроJ
зеркала
x
от отклоняющего напряжения
ai
U
.
Срез зависимости отклонения структуры микрозеркала
x
от отклоняющеJ
го напряжения
ai
U
(рис. 3.15) соответствует режиму замыкания структуры миJ
крозеркала и отклоняющего электрода [54].
Рис. 3.15. Зависимость отклонения структуры микрозеркала
x
от отклоняющего напряжения
ai
U
:
1 –
d
=2 мкм; 2 –
d
=4 мкм; 3 –
d
=6 мкм;
4 –
d
=8 мкм; 5 –
d
=10 мкм
45

Страницы