ВУЗ:
Составители:
Для получения больших углов отклонения микрозеркал необходимо обесJ
печить большее расстояние между структурой микрозеркала и отклоняющих
электродов. Использование технологии поверхностной микрообработки при
изготовлении микрозеркал не позволяет получить больших зазоров, а применеJ
ние объемной микрообработки снижает интеграцию элементов МСТ с ИС. Для
устранения данного недостатка при изготовлении микрозеркал по технологиям
поверхностной обработки применяется самосборка с использованием электроJ
статических двигателей (ЭМД).
На рис.3.18 представлено интегральное двуосное микрозеркало, изготавJ
ливаемое с использованием технологии самосборки с помощью электростатиJ
ческих микродвигателей [60-62].
Рис.3.18. Интегральное микрозеркало с ЭМД
Данное микромеханическое устройство изготавливается в рамках
MUMPs-технологии.
Для уменьшения энергопотребления электростатических актюаторов,
входящих в состав микрозеркал, целесообразно использовать гребенчатые
структуры, обладающие большей емкостью по сравнению с плоскими.
На рис. 3.19 представлено интегральное микромеханическое зеркало с
гребенчатыми электростатическими актюаторами [62].
При подаче отклоняющего напряжения на подвижный электрод, относиJ
тельно неподвижного, на упругий подвес начинает действовать крутящий моJ
мент силы, определяемый выражением
θ
d
dC
UM ⋅⋅=
2
2
1
, (3.28)
где
U
– напряжение;
θ
d
dC
– изменение емкости между подвижным и неподвижJ
ным электродами по мере отклонения микрозеркала от первоначального полоJ
жения.
47
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 45
- 46
- 47
- 48
- 49
- …
- следующая ›
- последняя »
