Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 49 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

)(
0
2
θ
ε
S
g
N
C
⋅
=
, (3.29)
где
N
– количество пальцев на подвижном электроде;
g
– зазор между пальцаJ
ми подвижного и неподвижного электродов;
θ
– угол поворота микрозеркала.
Изменение площади перекрытия электродов является нелинейной функJ
цией от угла поворота микрозеркала и будет увеличиваться до тех пор, пока
верх пальцев подвижного электрода не поравняется с верхом пальцев непоJ
движного электрода (рис. 3.21).
а
б
Рис. 3.21. Модель движения электростатического гребенчатого актюатора
В этом случае угол поворота достигнет некоторого значения (
θ
=
0
θ
) и
максимальный крутящий момент будет определяться выражением [62]:
g
dLNU
M
⋅
−⋅⋅⋅
=
2
)
22
(
0
2
max
max
ε
, (3.30)
где
L
– расстояние от оси вращения подвижного электрода до его края;
d
–
расстояние от оси вращения до края неподвижного электрода.
Максимальный угол поворота будет определяться следующим выражениJ
49

Страницы