Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 50 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

ем [62]:
+
−
=
L
gt
0
1
sin
0
θ
, (3.31)
где
t
– толщина пальцев подвижного электрода;
0
g
– расстояние от верхнего
края неподвижного электрода до нижнего края подвижного электрода.
На рис. 3.22 представлена зависимость изменения
θ
d
dC
от длины пальцев
подвижного электрода [62].
Рис. 3.22. Изменения
θ
d
dC
от длины пальцев подвижного электрода
Изменение угла поворота от приложенного напряжения описывается
трансцендентным уравнением [62]:
θ
θ
θθ
θ
θ
d
dC
k
U
k
UM
U
)(
2
2
),(
)( ⋅
⋅
==
, (3.32)
где
θ
k
– угловая жесткость упругого подвеса микрозеркала, определяемая с
помощью следующего выражения [62]:
50

Страницы