Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 51 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

0
2
2
0
2
sin
2
)
0
(
0
2
max
0
max
θ
θ
ε
θ
θ
⋅⋅
−
−
⋅⋅⋅
==
g
d
gt
NU
M
k
. (3.33)
Резонансная частота определяется следующим выражением [62]:
3
)(2
2
0
2
sin
2
)
0
(
0
2
max
3
p
N
m
w
m
tg
d
gt
NU
r
⋅⋅⋅⋅⋅⋅
−
−
⋅⋅⋅⋅
=
λρ
θ
ε
ω
, (3.34)
где
ρ
– плотность;
m
t
– толщина микрозеркала;
m
w
– ширина микрозеркала;
λ
– длина волны;
p
N
– оптическое разрешение микрозеркала, определяемая
выражением
λ
θ
⋅
⋅⋅
=
a
L
p
N
m0
8
, (3.35)
где
– полудлина микрозеркала;
a
– фактор модели, определяемый экспериJ
ментально (для квадратного микрозеркала
1=a
).
В настоящее время разработано большое количество интегральных миJ
крозеркал с гребенчатыми электростатическими актюаторами.
На рис. 3.23 представлены структуры интегральных микрозеркал с греJ
бенчатыми электростатическими актюаторами, получившие широкое распроJ
странение [60-62].
3.3. Интегральные микромеханические ключи
Интегральные микромеханические ключи находят широкое применение в
миниатюрных робототехнических системах в качестве логических элементов.
В настоящее время разработано достаточно большое количество микроJ
механических ключей, изготавливаемых из алюминия и золота, что сужает обJ
ласти их применения, т.к. металлические ключи более чувствительны к ускореJ
нию, чем микромеханические, выполненные из полупроводниковых материаJ
лов. Кроме того, при изготовлении интегральных микромеханических ключей
из металла необходимо использовать один жертвенный слой, что затрудняет их
изготовление в одном технологическом процессе совместно с другими элеменJ
тами МСТ и ИС [63,64].
Микромеханические ключи, в которых в качестве структурного материаJ
ла используется поликремний, изготавливаются с помощью технологии поверхJ
ностной микрообработки, что в свою очередь позволит интегрально изготавлиJ
вать их в одном технологическом процессе совместно с другими элементами
МСТ и ИС.
Принцип действия микромеханических ключей может быть электростатиJ
ческим, магнитным или электромагнитным. Каждый из перечисленных принциJ
51

Страницы