Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 53 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

происходит механический контакт консольной балки при ее отклонении от перJ

воначального положения, за счет действия электростатической силы, называетJ

ся областью стока.

На рис. 3.24 приведена структура интегрального микромеханического

ключа.

Микромеханический ключ может работать в инверсном и нормальном реJ

жимах (рис.3.25) [64].

Рис. 3.24. Структура интегрального микромеханического ключа:

1 –подложка; 2 – диэлектрик; 3 –область истока;

4 – консольная балка; 5 – область затвора; 6 – область стока

а б

Рис. 3.25. Условные обозначения микромеханического ключа:

а – инверсный режим работы;

б – нормальный режим работы