Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 52 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

пов имеет свои достоинства и недостатки. Электромагнитная активация микроJ

механических ключей позволяет снизить напряжения срабатывания, но при выJ

соком потреблении тока. Преимущество микромеханических ключей с электроJ

статической активацией заключается в отсутствии потребления тока, а недостаJ

ток – в высоком напряжении срабатывания (5-100 В). Ключи с таким видом акJ

тивации применяются в микросистемах, для которых важным фактором являетJ

ся низкая потребляемая мощность [4,64,65].

Рис. 3.23. Интегральные микрозеркала

с гребенчатыми электростатическими актюаторами:

а – одноосное микрозеркало, изготавливаемое в

рамках технологии поверхностной микрообработки;

б – одноосное микрозеркало, изготавливаемое в

рамках технологии объемной микрообработки

Большинство микромеханических ключей с электростатической активаJ

цией, в качестве подвижного элемента, содержат консольную балку. Область, к

которой непосредственно присоединена консольная балка, принято называть

истоком. Область, расположенная под консольной балкой и используемая для

создания электростатической силы, называется затвором. Область, с которой