Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 54 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

При инверсном режиме работы область истока подключена к шине питаJ

ния, а область стока – к шине нулевого потенциала. При отсутствии отклоняюJ

щего напряжения между областью затвора и консольной балкой, соединенной с

областью истока, возникает электростатическая сила, которая притягивает конJ

сольную балку к затвору. Это приводит к возникновению электрического конJ

такта между истоком и стоком. Интегральный микромеханический ключ замJ

кнут. При подаче отклоняющего напряжения между затвором и консольной

балкой, последняя возвращается в исходное положение. Микромеханический

ключ находится в разомкнутом состоянии.

При нормальном режиме работы область стока подключена к шине питаJ

ния, а область истока – к шине нулевого потенциала. В отсутствие отклоняюJ

щего напряжения между областью затвора и консольной балкой, последняя наJ

ходится в исходном положении и электрический контакт исток-сток отсутствуJ

ет. Интегральный микромеханический ключ находится в разомкнутом состояJ

нии. При подаче отклоняющего напряжения на область затвора относительно

консольной балки между ними возникает электростатическая сила.

На рис.3.26 показаны зависимости электростатической силы от величины

зазора между консольной балкой и областью затвора при различных значениях

отклоняющего напряжения (сплошная линия) и силы упругости от величины

зазора (пунктирная линия) [4].

Когда приложенное напряжение достигает порогового значения включеJ

ния, консольная балка притягивается к нижним электродам. Это приводит к

возникновению электрического контакта между истоком и стоком. МикромехаJ

нический ключ находится в замкнутом состоянии. При уменьшении отклоняюJ

щего напряжения до некоторого порогового значения выключения консольная

балка возвращается в первоначальное положение. Микромеханический ключ

находится в разомкнутом состоянии [4].

Рис.3.26. Зависимости электростатической силы

и силы упругости от величины зазора

(при толщине балки 0,5 мкм и площади области затвора 4*10

мкм

)