ВУЗ:
Составители:
Интегральное микрозеркало отклоняется от своего первоначального поJ
ложения (рис. 3.20).
Рис. 3.19. Интегральное микромеханическое зеркало
Рис. 3.20. Перемещение интегрального микромеханического зеркала
под действием отклоняющего напряжения
Если толщина пальцев подвижного и неподвижного электродов превышаJ
ет величину зазора между ними, то крутящий момент может быть определен
без учета краевых полей. В этом случае величина емкости между подвижным и
неподвижным электродами будет пропорциональна площади перекрытия элекJ
тродов (рис. 3.21) [62]:
48
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 46
- 47
- 48
- 49
- 50
- …
- следующая ›
- последняя »
