Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 46 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Как видно на рис.3.15, при достижении отклоняющим напряжением знаJ

чения напряжения замыкания возникает эффект неконтролируемого электроJ

статического притяжения, т.е. микромеханическая структура теряет стабильJ

ность. Это возникает из-за преобладания электростатической силы над силой

упругости.

В настоящее время разработано достаточно большое количество одно- и

двуосных микромеханических зеркал с электростатической активацией.

На рис. 3.16 – 3.17 представлены структуры интегральных микрозеркал с

электростатической активацией, получившие наиболее широкое распространеJ

ние [60-62].

Рис. 3.16. Интегральное двуосное микрозеркало,

выполненное по технологии объемной микрообработки

Рис. 3.17. Двуосное микрозеркало,

выполненное с использованием операции микросборки