Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 39 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

жидкости будут ускоряться между структурами, и возникнет движение жидкоJ

сти через сопла в одном направлении. Перестройка работы электрогидродинаJ

мического микронасоса заключается только в приложении к структурам обратJ

ного напряжения.

С помощью электрогидродинамических микронасосов можно перекачиJ

вать различные масла и полярные жидкости (этиловый и метиловый спирты,

ацетон, фреон) и множество других непроводящих жидкостей с удельным соJ

противлением, лежащим в диапазоне от 10

до 10

Ом*см. Обычную воду таJ

ким путем перекачивать нельзя, так как под воздействием электрических полей

в ней начинается электролиз [55].

Возможными применениями данного класса микронасосов являются миJ

ниатюрные системы охлаждения электронных компонентов, основанные на исJ

пользовании этилового и метилового спиртов. В других возможных применениJ

ях наиболее целесообразно применять микронасосы второго класса, содержаJ

щие подвижные мембраны и клапана.

3.1.2. Механические микронасосы с активными клапанами

В качестве активационного механизма в механических микронасосах с

активными клапанами используются пьезоэлектрические и термопневматичеJ

ские актюаторы. Микронасосы данного вида содержат несколько активных

клапанов, расположенных последовательно друг за другом (рис.3.8) [52,57,59].

Рис.3.8. Механический микронасос с активными клапанами

При включении актюатора первого активного клапана происходит дефорJ

мация мембраны, что приводит к открытию первого клапана. Жидкость со вхоJ

да микронасоса через открытый первый клапан поступает на вход второго акJ

тивного клапана. Выключение актюатора первого клапана происходит одновреJ

менно с включением актюатора второго клапана. Когда второй клапан открываJ

ется, жидкость поступает на вход третьего клапана. Далее производится одJ

новременное открытие первого и третьего клапанов и закрытие второго. ЖидJ

кость с входа третьего клапана попадает на выход микронасоса, а жидкость с

входа микронасоса попадает на вход второго активного клапана. Далее цикл поJ

вторяется.