Измерение параметров плазмы методом электрического зонда. Матюхин В.Д. - 16 стр.

    Одна из диагоналей моста запитывается от источника напряжения 4 ( 150-
200В). Пилообразное напряжение с другой диагонали моста через
сопротивление 10кОм и 16 Ом подается на зонд 5. Вольтметр V1 измеряет
напряжение на зонде, вольтметр V2 служит для косвенного измерения
зондового тока ( через падение напряжения на сопротивлении 10кОм). С
резистора 16 Ом на самописец 3 подается сигнал, пропорциональный
зондовому току.
    Для снятия зондовой характеристики необходимо включить самописец на
                        мм
скорость протяжки 720       , установить напряжение источника питания 4 ÷ 150 В .
                        час
При включенном разряде прибор запишет характеристику: ордината самописца
пропорциональна зондовому току, временная координата на зонде.
Характеристики будут записываться периодически через ≈ 3 мин . На концах
характеристик, когда ползунок переменного резистора 2 будет проходить через
крайние положения, зондовые напряжения и ток некоторое время будут
постоянны. В эти моменты напряжение и ток следует записать н6а ленте
самописца: они определят масштабы зондовой характеристики. На ленте
записываются значения давления газа и разрядного тока. Затем по формулам (3)
и (7) определяются температура и концентрация электронов.


           14. ПРИБОРЫ УСТАНОВКИ И ИХ НАЗНАЧЕНИЕ

1─ мост пилообразного напряжения,          9─катушки магнитного поля для
2─круговой резистор,                       исследования плазмы в Н поле,
3─самописец,                               10─баллон с азотом,
4─источник питания моста,                  11─вентиль-натекатель,
5─двойной зонд,                            12─кран отсечки,
6─электорды ВЧЕ-разряда,                   13─кран откачки,
7─генератор       высокочастотного         14─вспомогательный кран
емкостного разряда,                        (постоянно открыт),
8─источник питания вч генератора           15─трехходовый кран,
(V < 600B, I < 120mA) ,                    16─лампа-манометр,
                                           17─форвакуумный насос.


                                  16. ЗАДАНИЕ
1. При давлении 0,2 Торр снимите характеристики для 4-ёх режимов,
соответствующих следующим максимальным токам насыщения на зонд ( 7 µA ,
20µA , 40µA , 80µA ). В каждом режиме снимите по 2-3 характеристики.
2. В режиме, соответствующем току насыщения 400 µA , измерьте температуру
электронов методом, описанном в п.8 (зонды переключите при участии
преподавателя).