ВУЗ:
Составители:
УДК 621.382.8(075.8)
Механцев Е.Б., Лысенко И.Е. Физические основы микросистемной
техники. Учебное пособие.– Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2004.– 54 с.
В учебном пособии рассмотрено использование электрического поля в
компонентах микросистемной техники (МСТ). Первый раздел пособия содер-
жит краткое изложение традиционных сведений об основных закономерностях
электрического поля. Во втором разделе излагаются вопросы механики, описы-
вающие поведения компонентов МСТ, находящихся в силовом поле под на-
грузкой. В третьем разделе описаны принципы создания актюаторных
компо-
нентов, использующих электрическое поле. В последнем разделе излагаются
основы использования электрической емкости для съема информации с микро-
системных сенсоров, т.е. вопросы создания датчиков перемещения.
Печатается по решению редакционно-издательского совета Таганрогского
государственного радиотехнического университета.
Табл. 2. Ил. 36. Библиогр.: 16 назв.
Рецензенты:
ООО Научно-исследовательская лаборатория «Автоматизации проекти-
рования», А.Н. Халявко, канд. тех. наук, зав. конструкторским отделом;
В.В. Беспятов, канд. тех. наук, зав. отделом №22 ОАО «НКБ ВС».
© Таганрогский государственный
радиотехнический университет, 2004
© Механцев Е.Б., Лысенко И.Е., 2004
