ВУЗ:
Составители:
ВВЕДЕНИЕ
Область применений изделий микросистемной техники (МСТ), а также
методов и средств, которыми она оперирует, непрерывно расширяется и грани-
цы этой области на современном этапе развития МСТ очертить невозможно. В
связи с этим сложно построить и достаточно полную классификацию объектов
МСТ и средств, которыми она оперирует. В то же время
функционирование из-
делий МСТ, а также их изготовление в значительной степени опирается на тра-
диционные физические и химические процессы, явления, закономерности и
свойства веществ, хотя нередко и в неожиданных сочетаниях. Поэтому в учеб-
ные планы подготовки студентов по специальностям 201900 «Микросистемная
техника», 220500 «Проектирование и технология электронно-вычислительных
средств» и 202100 «Нанотехнология в электронике
» введены курсы «Специаль-
ные вопросы физики микросистем», «Физические основы МСТ» и «Специаль-
ные разделы физики», в которых рассматриваются вопросы применения физи-
ческих и химических процессов и явлений и их сочетаний для построения
компонентов и изделий МСТ.
Предметом настоящего пособия является материал по использованию
электрического поля в устройствах МСТ. Первый раздел
пособия содержит
краткое изложение традиционных сведений об основных закономерностях
электрического поля в рамках, необходимых для понимания последующего ма-
териала. Во втором разделе излагаются вопросы механики, описывающие пове-
дения элементов МСТ (балок, диафрагм и пр.), находящихся в силовом поле
под нагрузкой. Основное прикладное содержание пособия помещено в третий
раздел, посвященный принципам создания
актюаторов (расширительное от
английских слов act – действие и actuator – силовой привод), т. е. – исполни-
тельных устройств, использующих электрическое поле. Наконец, в последнем
разделе излагаются основы использования электрической емкости для съема
информации с микросистемных сенсоров, т. е. вопросы создания датчиков пе-
ремещения.
