Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 37 стр.

UptoLike

37
Предположим, что напряжение приложено к полюсу статора 1 (см. рис. 3.13,а),
т.е. микродвигатель находится в относительном равновесии. Если напряжение
будет приложено к полюсу 2 статора, то положение ротора изменится так, что
от займет новое положение относительно данного полюса, т.е. вращающий мо-
мент, действующий на ротор, повернет его на некоторый угол
ϕ
(см.
рис. 3.13,б). Далее цикл повторяется.
На рис. 3.14 приведена последовательность переключения фаз.
Рис. 3.14. Последовательное переключение фаз
Шаг приращения угла поворота ротора
s
τ
планарного микродвигателя
может быть определен с помощью следующего выражения:
{} {}
[]
.1
2
,0
,
12
min
21
2
21
1
min2
21
min
=
==
ni
nin
nnn
i
n
i
s
π
πτττ
(3.15)
Если количество полюсов статора будет меняться в диапазоне
, где q количество фаз, то выражение (56) примет следующий вид:
[]
1,0 qj
{} {}
[]
[]
.1,0,1
2
,0
,
12
min
21
2
21
min2
21
min
=
==
qjni
ninj
nnn
i
n
j
ij
s
π
πτττ
(3.16)
Угловая частота планарного электростатического микродвигателя может
быть определена с помощью следующего выражения:
f
s
n
=
1
1
2
τ
π
, (3.17)
где
f
частота переключения фаз.
В табл.3.1 приведены значения углового шага размещения полюсов рото-