Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 36 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

3.3. Планарные электростатические микродвигатели

Принцип работы планарных электростатических микродвигателей заклю-

чает в преобразовании электрической энергии в механическую, выраженную во

вращательном движении ротора [13].

На рис. 3.13 представлен планарный электростатический микродвигатель

с двенадцатью полюсами статора (12

n ) и восьмью – ротора (8) [13].

а б

Рис. 3.13. Планарный электростатический двигатель:

а – начальное положение ротора планарного микродвигателя;

б – перемещение ротора планарного микродвигателя

Достоинствами данного вида электростатических микродвигателей явля-

ются простота конструкции и ни столь строгие требования к структурному ма-

териалу микродвигателя.

В основном, в качестве структурного материала планарных микродвига-

телей, используются электропроводящие материалы.

Угловой

шаг размещения полюсов статора и ротора определяется сле-

дующим выражением (см. рис. 3.13):

;

⋅

, (3.14)

где

– угловой шаг полюсов статора и ротора, соответственно; – ко-

личество полюсов на статоре и роторе, соответственно.

Рассмотрим работу планарного электростатического микродвигателя.