ВУЗ:
Составители:
34
Рис. 3.11. Изменения
θ
d
dC
от длины пальцев подвижного электрода
Изменение угла поворота от приложенного напряжения описывается
трансцендентным уравнением:
θ
θ
θθ
θ
θ
d
dC
k
U
k
UM
U
)(
2
2
),(
)(
⋅
⋅
==
, (3.10)
где
θ
k – угловая жесткость упругого подвеса микрозеркала, определяемая с
помощью следующего выражения:
0
2
2
0
2
sin
2
)
0
(
0
2
max
0
max
θ
θ
ε
θ
θ
⋅⋅
⎥
⎥
⎦
⎤
⎢
⎢
⎣
⎡
−
−
⋅⋅⋅
==
g
d
gt
NU
M
k
. (3.11)
Резонансная частота определяется следующим выражением:
3
)(2
2
0
2
sin
2
)
0
(
0
2
max
3
p
N
m
w
m
tg
d
gt
NU
r
⋅⋅⋅⋅⋅⋅
⎥
⎥
⎦
⎤
⎢
⎢
⎣
⎡
−
−
⋅⋅⋅⋅
=
λρ
θ
ε
ω
, (3.12)
где
ρ
– плотность; – толщина микрозеркала; – ширина микрозеркала;
m
t
m
w
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 32
- 33
- 34
- 35
- 36
- …
- следующая ›
- последняя »
