Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 34 стр.

UptoLike

34
Рис. 3.11. Изменения
θ
d
dC
от длины пальцев подвижного электрода
Изменение угла поворота от приложенного напряжения описывается
трансцендентным уравнением:
θ
θ
θθ
θ
θ
d
dC
k
U
k
UM
U
)(
2
2
),(
)(
==
, (3.10)
где
θ
k угловая жесткость упругого подвеса микрозеркала, определяемая с
помощью следующего выражения:
0
2
2
0
2
sin
2
)
0
(
0
2
max
0
max
θ
θ
ε
θ
θ
==
g
d
gt
NU
M
k
. (3.11)
Резонансная частота определяется следующим выражением:
3
)(2
2
0
2
sin
2
)
0
(
0
2
max
3
p
N
m
w
m
tg
d
gt
NU
r
=
λρ
θ
ε
ω
, (3.12)
где
ρ
плотность; толщина микрозеркала; ширина микрозеркала;
m
t
m
w