ВУЗ:
Составители:
33
g
dLNU
M
⋅
−⋅⋅⋅
=
2
)
22
(
0
2
max
max
ε
, (3.8)
где
– расстояние от оси вращения подвижного электрода до его края; –
расстояние от оси вращения до края неподвижного электрода.
L
d
Максимальный угол поворота будет определяться следующим выражени-
ем:
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛
+
−
=
L
gt
0
1
sin
0
θ
, (3.9)
где
t
– толщина пальцев подвижного электрода; – расстояние от верхнего
края неподвижного электрода до нижнего края подвижного электрода.
0
g
На рис. 3.11 представлена зависимость изменения
θ
d
dC
от длины пальцев
подвижного электрода.
а
б
Рис. 3.10. Модель движения электростатического гребенчатого актюатора
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 31
- 32
- 33
- 34
- 35
- …
- следующая ›
- последняя »
