ВУЗ:
Составители:
35
λ
– длина волны; – оптическое разрешение микрозеркала, определяемая
выражением
p
N
λ
θ
⋅
⋅
⋅
=
a
L
p
N
m0
8
, (3.13)
где – полудлина микрозеркала; – фактор модели, определяемый экспери-
ментально (для квадратного микрозеркала
m
L a
1
=
a ).
В настоящее время разработано большое количество интегральных мик-
розеркал с гребенчатыми электростатическими актюаторами.
На рис. 3.12 представлены структуры интегральных микрозеркал с гре-
бенчатыми электростатическими актюаторами, получивших широкое распро-
странение.
а
б
Рис. 3.12. Интегральные микрозеркала
с гребенчатыми электростатическими актюаторами:
а – одноосное интегральное микромеханическое зеркало;
б – двуосное интегральное микромеханическое зеркало
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 33
- 34
- 35
- 36
- 37
- …
- следующая ›
- последняя »
