ВУЗ:
Составители:
31
Рис. 3.7. Двуосное микрозеркало,
выполненное с использованием операции микросборки
3.2.2. Микрозеркала с гребенчатыми электростатическими
актюаторами
На рис. 3.8 представлено интегральное микромеханическое зеркало с гре-
бенчатыми электростатическими актюаторами [12].
Рис. 3.8. Интегральное микромеханическое зеркало
При подаче отклоняющего напряжения на подвижный электрод, относи-
тельно неподвижного, на упругий подвес начинает действовать крутящий мо-
мент силы, определяемый выражением
θ
d
dC
UM ⋅⋅=
2
2
1
, (3.6)
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 29
- 30
- 31
- 32
- 33
- …
- следующая ›
- последняя »