Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 31 стр.

UptoLike

31
Рис. 3.7. Двуосное микрозеркало,
выполненное с использованием операции микросборки
3.2.2. Микрозеркала с гребенчатыми электростатическими
актюаторами
На рис. 3.8 представлено интегральное микромеханическое зеркало с гре-
бенчатыми электростатическими актюаторами [12].
Рис. 3.8. Интегральное микромеханическое зеркало
При подаче отклоняющего напряжения на подвижный электрод, относи-
тельно неподвижного, на упругий подвес начинает действовать крутящий мо-
мент силы, определяемый выражением
θ
d
dC
UM =
2
2
1
, (3.6)