Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 32 стр.

UptoLike

32
где
U
напряжение;
θ
d
dC
изменение емкости между подвижным и неподвиж-
ным электродами по мере отклонения микрозеркала от первоначального поло-
жения.
Интегральное микрозеркало отклоняется от своего первоначального по-
ложения (рис. 3.9).
Рис. 3.9. Перемещение интегрального микромеханического зеркала
под действием отклоняющего напряжения
Если толщина пальцев подвижного и неподвижного электродов превы-
шает величину зазора между ними, то крутящий момент может быть определен
без учета краевых полей. В этом случае величина емкости между подвижным и
неподвижным электродами будет пропорциональна площади перекрытия элек-
тродов (рис. 3.10):
)(
0
2
θ
ε
S
g
N
C
=
, (3.7)
где
N
количество пальцев на подвижном электроде;
g
зазор между паль-
цами подвижного и неподвижного электродов;
θ
угол поворота микрозерка-
ла.
Изменение площади перекрытия электродов является нелинейной функ-
цией от угла поворота микрозеркала и будет увеличиваться до тех пор, пока
верх пальцев подвижного электрода не поравняется с верхом пальцев непод-
вижного электрода (рис. 3.10).
В этом случае угол поворота достигнет некоторого значения (
θ
=
0
θ
) и
максимальный крутящий момент будет определяться выражением: