ВУЗ:
Составители:
32
где
U
– напряжение;
θ
d
dC
– изменение емкости между подвижным и неподвиж-
ным электродами по мере отклонения микрозеркала от первоначального поло-
жения.
Интегральное микрозеркало отклоняется от своего первоначального по-
ложения (рис. 3.9).
Рис. 3.9. Перемещение интегрального микромеханического зеркала
под действием отклоняющего напряжения
Если толщина пальцев подвижного и неподвижного электродов превы-
шает величину зазора между ними, то крутящий момент может быть определен
без учета краевых полей. В этом случае величина емкости между подвижным и
неподвижным электродами будет пропорциональна площади перекрытия элек-
тродов (рис. 3.10):
)(
0
2
θ
ε
S
g
N
C
⋅
=
, (3.7)
где
N
– количество пальцев на подвижном электроде;
g
– зазор между паль-
цами подвижного и неподвижного электродов;
θ
– угол поворота микрозерка-
ла.
Изменение площади перекрытия электродов является нелинейной функ-
цией от угла поворота микрозеркала и будет увеличиваться до тех пор, пока
верх пальцев подвижного электрода не поравняется с верхом пальцев непод-
вижного электрода (рис. 3.10).
В этом случае угол поворота достигнет некоторого значения (
θ
=
0
θ
) и
максимальный крутящий момент будет определяться выражением:
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 30
- 31
- 32
- 33
- 34
- …
- следующая ›
- последняя »