Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 48 стр.

UptoLike

48
а б
Рис. 4.1. Способы стабилизации рабочей площади обкладок:
аполное перекрытие;
бпересечение обкладок
а б
Рис. 4.2. Подвижный и неподвижный электроды:
аэлектроды, изготовленный с помощью операции диффузии;
бэлектроды, изготовленный с помощью операции металлизации
Для повышения чувствительности и стабильности емкостные датчики пе-
ремещений могут быть выполнены по дифференциальной схеме (рис. 4.3). В
этом случае при взаимном перемещении электродов происходит одновремен-
ные изменения зазоров и
емкостей в противоположных направлениях в соот-
ветствии с выражениями:
hh
Se
C
+
=
0
0
1
;
hh
Se
C
=
0
0
2
,
где h
0
начальный зазор между электродами;
h смещение подвижных элек-
тродов относительно центрального.
Информация об измеренном перемещении должна преобразовываться в
электрический сигнал по цепочке: перемещение
изменение емкости
изменение электрического сигнала. Естественно, что преобразование емкости в
электрический сигнал возможно только на переменном токе или в импульсном
режиме. Существует множество вариантов схем, реализующих такое преобра-
⎯→ ⎯→