Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 49 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

зование, причем полезную информацию может нести амплитуда или частота

переменного тока, ширина и форма электрических импульсов и другие их па-

раметры.

Рис. 4.3. Емкостной преобразователь перемещений:

1 – подвижный электрод; 2 – неподвижные электроды

В простейших случаях используются делители напряжения переменного

тока, составленные из последовательно включенных элементов с постоянной

(эталонной) емкостью

и элемента с емкостью, несущей информацию о пе-

ремещении

(рис. 4.4).

Рис. 4.4. Простейшая схема включения емкостного датчика перемещений

На этот делитель подается переменное напряжение постоянной амплиту-

ды

, напряжение на выходе делителя несет информацию об изменении ем-

кости, которое связано с перемещением

Для уменьшения погрешности, в первую очередь температурных, в дат-

чиках, использующих опорный элемент (конденсатор), последний имеет ту же

конструкцию и выполняется по той же технологии, что и несущий информацию

о перемещении. Размещаются они так, чтобы оба элемента находились в одина-

ковых условиях. На рис. 4.5 представлен вариант такой пары конденсаторов,

образующих

чувствительный элемент датчика давления. Конденсаторы практи-

чески идентичны за исключением одной детали: опорный элемент, изображен-

ный в нижней части рисунка, защищен от воздействия на мембрану измеряемо-

го давления толстым слоем оксида кремния, в то время как мембрана верхнего

элемента не защищена и прогибается под действием измеряемого давления и