Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 51 стр.

UptoLike

51
ких схем основана на следующих принципах. Чувствительный элемент (в на-
шем случае подвижный электрод емкостного датчика перемещений) находится
под действием двух сил. Одна создается измеряемым внешним воздействием
(например, давлением) и стремится вызвать перемещение рабочего электрода и
изменение емкости в одну сторону. Другая сила создается самим измеритель-
ным устройством, например, это
может быть сила электрического тяжения,
действующая на тот же электрод в противоположном направлении. Величина
этой силы изменяетсяуправляется») с помощью цепи обратной связи. Она
охватывает измерительную цепь таким образом, чтобы суммарное воздействие
обеих сил было скомпенсировано и рассогласование в их взаимодействии, ко-
торое улавливает чувствительный элемент, было бы минимальным. В
результа-
те точность работы, динамический диапазон измерений, линейность в системе
существенно повышаются. Теория и практика проектирования таких систем яв-
ляется объектом автоматического регулирования. Для примера на рис. 4.7 при-
ведена компенсационная схема измерения давления, использующая датчик пе-
ремещения [16].
Рис. 4.6. Измерительная цепь акселерометра
Рис. 4.7. Принципиальная электромеханическая схема
с электростатическим уравновешиванием